随着芯片制程工艺的更新迭代，芯片已进入纳米时代，指甲盖大小的芯片上集成的晶体管数量高达百亿。然而芯片制造最大的困难是光刻机。
2022-07-05 10:57
，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限，所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极紫外光（
2020-07-07 14:22
据悉，ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商，年产量为40余台，台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵
2020-10-13 13:51
。媒体称，台积电采购的EUV光刻机已经超过30台，三星累计采购的EUV光刻机不到20台。 围绕芯片制造要用到的关键设备
2020-10-19 12:02
三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV
2022-07-05 15:26
光刻机和euv光刻机区别是是什么呢？ duv光刻机和euv光刻机区别 1
2022-07-10 14:53
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5
2022-07-10 15:28
三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单，另外一方面也在增资为EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52
媒体称三星的目的是为了抢到ASML的EUV光刻机。 目前芯片短缺的现状大家也都清楚，再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻
2022-06-07 14:18
目前，还有ASML有能力生产最先进的EUV光刻机，三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约，中国大陆没有从ASML买来一台
2021-01-21 08:56
